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估算镁生产过程六氟化硫排放量的计算公式见式（2.10），此方法是《2006年IPCC清单指南》推荐的方法，也是我国国家温室气体清单编制所采用的方法。
ESF?6ADi?i?162?EFi （2.10）
式中，ESF是镁生产过程SF6排放量，ADi分别是各市（县）境内采用六氟化硫作为保护剂的原镁产量和镁加工的产量，EFi分别是采用六氟化硫作为保护剂的原镁生产的SF6排放因子和镁加工的SF6排放因子。
2．活动水平数据及其来源
对于原镁生产环节，所需的活动水平数据为各市（县）境内采用六氟化硫作为保护剂的原镁产量。对于镁加工环节，所需的活动水平数据为各市（县）境内镁加工产量。浙江省没有原镁生产企业，存在50余家镁加工企业，可调研各市（县）相关行业管理部门（经信）获取镁加工企业名录和产量。在原始数据收集的基础上，可汇总出镁生产过程活动水平数据表，见表2.17。
表2.17 镁生产过程活动水平数据
类 别 采用六氟化硫作为保护剂的原镁产量 镁加工产量 单位 万吨 万吨 数值 3．排放因子数据
若无本地实测排放因子，建议采用表2.18推荐的排放因子
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估算镁生产过程排放量。
表2.18 推荐的镁生产过程排放因子
类 别 原镁生产 镁加工 单 位 千克SF6/吨镁 千克SF6/吨镁 推荐数值 0.490 0.114 （三）电力设备生产过程 1．清单编制方法
六氟化硫具有优异的绝缘性能和良好的灭弧性能，在高压开关断路器及封闭式气体绝缘组合电器设备（GIS）得到广泛使用。市（县）清单只报告电力设备生产环节和安装环节的六氟化硫排放，暂不报告电力设备使用环节和报废环节的六氟化硫排放。
估算电力设备生产过程六氟化硫排放量的计算公式见式（2.11），此方法是《IPCC优良作法指南》推荐的方法，也是我国国家温室气体清单编制所采用的方法。
ESF6?AD?EF
6 （2.11）
式中，ESF是电力设备生产过程的SF6排放量；AD是各市（县）境内电力设备生产过程SF6的使用量；EF是电力设备生产过程SF6的平均排放因子。
2．活动水平数据及其来源
所需的活动水平数据为各市（县）境内电力设备生产过程六氟化硫使用量，可调研当地电气行业协会或相关行业管理部门
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（经信）获取当地电气企业名录，进行实地调研。在原始数据收集的基础上，可以汇总出电力设备生产过程活动水平数据表见表2.19。可采用计算公式：电力设备生产过程六氟化硫年使用量=年中采购量+年初存量-年底余量。
表2.19 电力设备生产过程活动水平数据
类 别 电力设备生产过程六氟化硫使用量 单位 吨 数值 3．排放因子数据
若无本地实测排放因子，建议采用表2.20的排放因子估算电力设备生产过程排放量。
表2.20 推荐的电力设备生产过程排放因子
类 别 电力设备生产过程六氟化硫排放因子 单位 % 推荐数值 8.6 （四）半导体生产过程 1．清单编制方法
半导体生产过程采用多种含氟气体。含氟气体主要用于半导体制造业的晶圆制作过程中，具体用在等离子刻蚀和化学蒸汽沉积（CVD）反应腔体的电浆清洁和电浆蚀刻。半导体制造的温室气体清单排放报告蚀刻与清洗环节的四氟化碳（CF4）、三氟甲烷（CHF3或HFC-23）、六氟乙烷（C2F6）和六氟化硫（SF6）的排放量。
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估算半导体生产过程排放量的方法的计算公式见式（2.12），式（2.13），式（2.14）和式（2.15），此方法是《IPCC优